베트맨 토토 312

내플라즈마성 특수 불소 탄성중합체

TOMBO™ 번호 2675-FC, 2685-FC

베트맨 토토™ O-링-FC

베트맨 토토 O-ring-FC(BFC) 및 베트맨 토토 O-ring-FE(BFE)는 플라즈마에 강하고 저렴한 특수 불소탄성체(특수 FKM)로 만들어졌습니다 니치아스의 블렌딩 기술 덕분에 플라즈마는 고무의 무게를 줄이고 크랙 발생을 줄이는 동시에 과불소탄성체(FFKM)보다 가격이 훨씬 저렴합니다

제품 카테고리

엘라스토머 제품고성능 엘라스토머

산업

전자제품반도체 및 평면 패널 디스플레이(FPD)전자 부품다양한 공장 시설배관

포르테

플라즈마 노출로 인한 무게 감소나 균열이 발생하지 않는 소재입니다
비점착성이 뛰어나 가동부에도 문제없이 사용할 수 있습니다
금속 함량이 낮아 입자 관련 문제가 줄어듭니다

응용프로그램

반도체 및 LCD 제조 장비 중 플라즈마 환경에 노출되는 밀봉 부품
FKM으로 수명 및 파티클 측면에서 문제가 있는 부품
FFKM을 사용하면 비용과 성능이 너무 뛰어난 부품

해당 장비
베트맨 토토 O-ring-FC: 플라즈마 CVD 장비

플라즈마 저항(무게 감소율)

평가 조건
장비: 표면파 플라즈마 에칭 장비
테스트 샘플 형태: AS568B-214
가스 유형: O2(2000SCCM) + CF4(40SCCM)
압력: 133 Pa
출력: 2000W
노출 기간: 20시간
신장률: 5%

플라즈마 저항(균열 저항)

평가 조건
장비: 표면파 플라즈마 에칭 장비
테스트 샘플 형태: AS568B-214
가스 유형: O2(2000SCCM) + CF4(40SCCM)
압력: 133 Pa
출력: 2000W
노출 기간: 20시간
신장률: 5%
외관 관찰: 5분 간격으로 최대 20분, 이후 10분 간격으로 최대 120분