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혈장 내성 특수 플루오로 엘라 스토머

Tombo ™ No. 2675-Fe, 2685-Fe

Blazer ™ O-Ring-Fe

Blazer O-Ring-FC (BFC) 및 BLAZER O-RING-FE (BFE)는 혈장 내성 및 저렴한 특수 플루오로 엘라 스토머 (특수 FKM)로 만들어집니다. Nichias의 혼합 기술에 감사드립니다. 플라즈마는 고무의 무게를 줄이고 균열 발생을 줄이고 동시에 Perfluoroelastomer (FFKM)보다 상당히 저렴합니다.

토토 배트맨 카테고리

Elastomer Products고성능 엘라스토머

산업

Electronics반도체 및 평면 패널 디스플레이 (FPD)전자 구성 요소다양한 공장 시설파이핑

Forte

플라즈마 노출로 인한 체중 감소 또는 균열을 겪는 데 취약하지 않은 물질입니다.
우수한 촉감이 좋기 때문에 아무런 문제없이 움직일 수있는 부품과 함께 사용할 수 있습니다.
금속 함량이 낮아 입자 관련 문제가 줄어 듭니다.

응용 프로그램

반도체 및 LCD 제조 장비, 플라즈마 환경에 노출 된 밀봉 부품
수명 및 FKM의 입자 측면에서 문제가있는 부품.
FFKM에서 비용과 성능이 너무 큰 부품.

해당 장비
Blazer O-Ring-FE : 플라즈마 에칭 장비

혈장 저항 (중량 감소율)

평가 조건
장비 : 표면파 플라즈마 에칭 장비
테스트 샘플 모양 : AS568B-214
가스 유형 : O2 (2000 SCCM) + CF4 (40 SCCM)
압력 : 133 PA
출력 : 2000 W
노출 기간 : 2.0 시간
신장률 : 5%

플라즈마 저항 (균열 저항)

평가 조건
장비 : 표면파 플라즈마 에칭 장비
샘플 모양 테스트 : AS568B-214
가스 유형 : O2 (2000 SCCM) + CF4 (40 SCCM)
압력 : 133 PA
출력 : 2000 W
노출 기간 : 2.0 시간
신장률 : 5%
외관 관찰 : 5 분 간격으로 최대 20 분, 그리고 10 분 간격으로 최대 120 분