혈장에 내성이있는 특수 플루오로 로버
Tombo ™ No. 2675-FC, 2685-FC
토토 배트맨® O-Ring-FC
토토 배트맨 O-Ring-FC (BFC) 및 토토 배트맨 O-Ring-Fe (BFE)는 플라즈마 저항성 및 저렴한 가격으로 특징 지어지는 특수 플루오로로 루버 (특수 FKM)입니다. 우리의 혼합 기술은 혈장으로 인한 고무의 무게와 균열을 줄이고 Perfluoro 고무 (FFKM)에 비해 상당히 낮은 비용을 달성합니다.
제품 카테고리
고무 제품고성능 고무
산업
Electronics반도체/FPD전자 부품다양한 공장의 장비배관
기능
우수한 비 스틱 특성이 있으므로 이동 가능한 부품에도 사용할 수 있습니다.
저 함유 금속은 입자 문제를 줄입니다.
용도
FKM의 문제는 수명 및 입자에 문제가 있습니다
FFKM의 비용과 성능이 너무 높은 장소
대상 장치
토토 배트맨 O-Ring-FC : 플라즈마 CVD 장치
플라즈마 저항 (체중 감량 속도)
평가 조건
장비 : 표면파 플라즈마 에칭 장치
샘플 모양 : AS568B-214
가스 유형 : O2 (2000SCCM) + CF4 (40SCCM)
압력 : 133 PA
출력 : 2000W
노출 시간 : 2.0 HR
확장 속도 : 5%
혈장 저항성 (균열 저항)
평가 조건
장비 : 표면파 플라즈마 에칭 장치
샘플 모양 : AS568B-214
가스 유형 : O2 (2000SCCM) + CF4 (40SCCM)
압력 : 133 PA
출력 : 2000W
노출 시간 : 2.0 HR
확장 속도 : 5%
외관 관찰 : 최대 20 분, 그 다음 최대 10 분 간격으로 120 분 간격으로
Other
- "Tombo"는 Nichias Co., Ltd.의 등록 상표입니다.
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