내플라즈마성 특수 불소고무
TOMBO™ 번호 2675-FE, 2685-FE
토토 배트맨® O-링-FE
블레이저 오링-FC(BFC)와 블레이저 오링-FE(BFE)는 특수 불소고무(특수 FKM)로 내플라즈마성과 저비용이 특징입니다 당사의 블렌딩 기술을 이용하여 플라즈마에 의한 고무의 중량 감소 및 균열을 억제함과 동시에 과불소 고무(FFKM)에 비해 대폭적인 원가 절감을 실현하였습니다
제품 카테고리
고무 제품고성능 고무
산업분야
전자제품반도체/FPD전자 부품다양한 공장 장비배관
특징
눌어붙지 않는 특성이 뛰어나 움직이는 부품에 적합하게 사용할 수 있습니다
낮은 금속 함량으로 입자 문제가 줄어듭니다
사용법
FKM이 수명과 입자에 문제가 있는 곳
FFKM에 비해 비용과 성능이 너무 높은 곳
대상 장치
블레이저 오링-FE: 플라즈마 에칭 장비
플라즈마 저항(체중 감소율)
평가 조건
장비: 표면파 플라즈마 에칭 장비
샘플 모양: AS568B-214
가스 유형: O2(2000sccm) + CF4(40sccm)
압력: 133 Pa
출력: 2000W
노출 시간: 20시간
성장률: 5%
플라즈마 저항(균열 저항)
평가 조건
장비: 표면파 플라즈마 에칭 장비
샘플 형태: AS568B-214
가스 유형: O2(2000sccm) + CF4(40sccm)
압력: 133 Pa
출력: 2000W
노출 시간: 20시간
성장률: 5%
외관 관찰: 20분까지 5분 간격, 이후 120분까지 10분 간격
기타
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